风机过滤单元5
简称FFU，确切地说是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。FFU层流罩是一种内配风机的吊顶用机组，用于乱流及层流洁净室内。适用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及对空气中污染有严格控制要求的地方。FFU层流罩可模块化连接使用，使得FU广泛应用于洁净室、洁净工作台、 洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。
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